[发明专利]一种RGB-IRP膜组及其制备工艺在审

专利信息
申请号: 202310221995.3 申请日: 2023-03-09
公开(公告)号: CN116300308A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 翁钦盛;王刚;叶炜昊 申请(专利权)人: 浙江美迪凯光学半导体有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;G02B5/22
代理公司: 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 代理人: 王莲莲
地址: 314400 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 rgb irp 及其 制备 工艺
【说明书】:

发明提供一种RGB‑IRP膜组及其制备工艺,其包括如下可循环环节,依次为涂胶、光刻显影、镀膜和去胶,其中镀膜其为进行R膜、G膜、B膜或IRP膜中的一种或几种镀膜作业,所述涂胶采用的为光刻胶。本发明镀膜的成品透过率相较采用(RGB‑IRP)胶接近翻倍的提升,由于镀膜曲线可以针对不需要的波段进行截止,就无需IRC膜或者IRC滤光片,且斜率较大,可以让带宽变大,有效增加了通光量。

技术领域

本发明涉及膜组制备技术领域,具体涉及一种RGB-IRP膜组及其制备工艺。

背景技术

黄光制程是通过对涂覆在玻璃表面的光敏性物质(又称为光刻胶),经曝光、显影后留下的部分对底层起保护作用,然后进行蚀刻脱膜并最终获得永久性图形的过程。对于彩色滤光,常见彩色滤光片的色彩层主要包括红色、绿色和蓝色,通过不同亮度红绿蓝像素发光区域组合达到显示的目标色彩。这种图案化的红绿蓝像素通常使用彩色光刻胶进行制造。

彩色光刻胶中提供色彩的常见主要成分为颜料(pigment),pigment主要为拥有特有化学构造的色素分子集合体,其本身不可溶,一般以小颗粒形式分散在特定的有机溶剂中。基于pigment的彩色滤光片,其透过率普遍较低,杂光多。目前业内常用的是(IRP+R+G+B)胶在玻璃上进行图形化后,再在上方加镀IRC(或者增加IRC滤光片)来截止IR部分来减少杂光,图2-4即为传统方案胶层结构及其镀IRC前后光透过检测结果。这种工艺带来的问题有:

(1)综合透过率较低,普遍在30-40%左右,但是该指标对于成品后的性能影响极大。

(2)如果是加镀IRC的话,需要增加一整道黄光镀膜制程,制备工艺繁杂、周期长,整体成本要提高25%,且如果采用加装IRC滤光片的话,对于整个模组的厚度会有很大的增加,厚度在0.9mm以上,成本也会有所上升。

(3)由于玻璃基板和IRC为无机材料,RGB以及IRP均为有机材质,有机和无机材质的结合的可靠性会存在较大的隐患。如果对于应用在高温或者低温环境下容易出现开裂或者脱膜的情况。

发明内容

为了克服现有技术中存在的不足,本发明提供一种RGB-IRP膜组及其制备工艺,通过在黄光制程中引入膜层工艺,用常规光刻胶及镀膜工艺取代的彩色光刻胶,从而获得透光率高且截断清晰的RGB-IRP膜组。

为实现上述目的,本发明提供一种RGB-IRP膜组的制备工艺,其包括至少一组可循环工艺,所述可循环工艺在玻璃基板上进行,依次进行涂胶、光刻显影、镀膜和去胶,所述涂胶为用光刻胶涂胶,所述镀膜为进行R膜、G膜、B膜或IRP膜中的一种或几种镀膜作业。

优选的,所述可循环工艺的循环次数与镀膜次数相同。

优选的,所述R膜、G膜、B膜或IRP膜均直接与玻璃基板接触。

优选的,至少一组可循环工艺中,所述涂胶均使用同种光刻胶。

优选的,所述镀膜的材料包括TIO2、TA2O5、HFO2、SIO2、AL2O3中一种或几种,其中,其中550nm波长下的折射率,高折射率材料为:折射率N:1.9-2.5、吸收率K小于0.1,低折射率材料为:折射率N小于1.7,吸收率K小于0.1。

优选的,R膜、G膜、B膜和IRP膜的透光波段分别为400nm-500nm、500nm-600nm、600nm-710nm和大于800nm,所述R膜、G膜、B膜或IRP膜的透光率均达到95%以上,且透光范围不交叉。

作为本发明的另一方面,本发明提供一种RGB-IRP膜组,其包括玻璃基板,所述玻璃基板上镀有R膜、G膜、B膜或IRP膜中的一种或几种。

优选的,不包括IRC膜和/或IRC滤光片。

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