[发明专利]一种WAT测试设备及其管控方法有效
| 申请号： | 202310219791.6 | 申请日： | 2023-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN115877165B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 马宗庆;李斌斌;朱哲仪;吴琪林;檀文涛 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明一种WAT测试设备及管控方法，WAT测试设备包括探测机台，探测机台包括探测机柜体、载台、探针卡和震动探测器，探测机柜体具有容纳空间，载台、探针卡和震动探测器均位于容纳空间内；电性测试时，被测晶圆和震动探测器均设置在载台上，探针卡位于被测晶圆上方，且与被测晶圆抵触设置并且电性连接，震动探测器能够测量震动的探针卡相对被测晶圆的震值。本发明通过震动探测器量化在WAT测试设备的电性测试时，可以获得探针卡相对被测晶圆的精准震值，有利于量产时选择合适的WAT测试设备进行投产，从而减少测试异常的发生，提高测试效率，提高了WAT测试设备的利用率，还节省了人力时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 wat 测试 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
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