[发明专利]一种WAT测试设备及其管控方法

说明书

本发明一种WAT测试设备及管控方法，WAT测试设备包括探测机台，探测机台包括探测机柜体、载台、探针卡和震动探测器，探测机柜体具有容纳空间，载台、探针卡和震动探测器均位于容纳空间内；电性测试时，被测晶圆和震动探测器均设置在载台上，探针卡位于被测晶圆上方，且与被测晶圆抵触设置并且电性连接，震动探测器能够测量震动的探针卡相对被测晶圆的震值。本发明通过震动探测器量化在WAT测试设备的电性测试时，可以获得探针卡相对被测晶圆的精准震值，有利于量产时选择合适的WAT测试设备进行投产，从而减少测试异常的发生，提高测试效率，提高了WAT测试设备的利用率，还节省了人力时间。

技术领域

本发明涉及半导体领域，特别涉及一种WAT测试设备及管控方法。

背景技术

随着国内对芯片的需求不断提高，各晶圆厂产能逐步提升，以及产品的种类也日益增加，对WAT测试设备的测试稳定性需求逐步提高。目前随着WAT测试设备数量的增加，部分WAT测试设备需要放置处于高架地板（例如钢板或脚架等）上，由于WAT测试设备的设备间的差异，使得WAT测试设备之间的表现无法保持一致，导致电性测试数据可能出现异常，这样就需要重新进行测试，影响了生产效率。据分析发现，设备间的差异来源可能由多个因素造成，例如设备在高架地板上有震动现象、设备的型号不同、新旧设备间的磨耗差异、设备摆放位置的环境差异等。

WAT测试设备主要是由探针卡接触晶圆的方式进行电性测试，其中接触的质量是一个很重要的关键因子，因测量项目较多、各种晶圆间存在制程差异，这就使得在电性测试时如果设备震动，将会影响测试接触，从而导致测试数据异常。

为了解决以上问题，目前在电性测试时，工作人员在探测机台的顶盖处手持测震仪多次进行震值测量，且每次需维持数分钟，这个过程由于工作人员的测量误差随机性较大。

由于当前所使用的测震仪的精度较低，且无法量化震值指标，且测量位置在探测机台的顶盖上，这就无法实时反映WAT测试设备的探针卡的探针与晶圆在接触时的实际震动情况，从而在测试异常发生后无法确认哪些种类的晶圆对震动更加敏感，从而无法做到晶圆的精准投放，增加了测试异常发生的频率，影响了生产效率。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种WAT测试设备及管控方法，可以在WAT测试设备的电性测试时，可以量化每个WAT测试设备的具体震值，使得其可以实时反映WAT测试设备的探针卡的探针与晶圆在接触时的实际震动情况，从而可以对震动敏感的晶圆进行精准投放，从而减少了测试异常发生的频率，提高生产效率。

为了解决上述问题，本发明提供一种WAT测试设备，包括探测机台，所述探测机台包括探测机柜体、载台、探针卡和震动探测器，所述探测机柜体具有容纳空间，所述载台、探针卡和震动探测器均位于所述容纳空间内；

电性测试时，被测晶圆和所述震动探测器均设置在所述载台上，所述探针卡位于所述被测晶圆上方，且与所述被测晶圆抵触设置并且电性连接，同时，所述震动探测器能够测量震动的所述探针卡相对所述被测晶圆的震值。

可选的，所述载台为圆盘状，所述载台具有相对设置的承载面和背面，以及连接所述承载面和背面的侧面，所述震动探测器固定在所述侧面上，所述承载面用于放置所述被测晶圆。

进一步的，所述震动探测器为光电传感器，所述光电传感器通过测量电性测试时所述载台在三维空间中的位移变化来获得所述探针卡相对所述被测晶圆的震值。

进一步的，所述探测机柜体包括柜主体和顶盖，所述柜主体的内部具有容纳空间，在所述柜主体的顶部具有开口，所述顶盖可翻动地盖设在所述开口处，所述探针卡固定在所述顶盖朝向所述载台的一侧上，

电性测试时，所述探针卡的探针与所述被测晶圆相接触且电性连接，以对所述被测晶圆进行电性测试，同时，所述震动探测器能够通过测量震动的所述载台的震值来获得所述探针卡相对所述被测晶圆的震值。