[发明专利]多层量子阱深紫外发光二极管及其制备方法在审
申请号: | 202310213819.5 | 申请日: | 2023-02-28 |
公开(公告)号: | CN116053375A | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 张韵;崔冰玥;杨杰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/02;H01L33/06;H01L33/32;H01L33/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 樊晓 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种多层量子阱深紫外发光二极管及其制备方法,应用于二极管技术领域。该发光二极管,包括:衬底;外延结构层,设置于衬底上,外延结构层包括:氮化铝层,设置于衬底上;过渡层,设置于氮化铝层上;量子阱有源层,设置于过渡层上,量子阱有源层包括第一端和与第一端相对设置的第二端;钝化层,设置于量子阱有源层上;P型层,设置于过渡层与钝化层之间,并与量子阱有源层的第一端接触;N型层,设置于过渡层与钝化层之间,并与量子阱有源层的第二端接触;P型电极,设置于P型层上,并贯穿钝化层;N型电极,设置于N型层上,并贯穿钝化层。 | ||
搜索关键词: | 多层 量子 深紫 发光二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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