[发明专利]一种物理气象沉积真空蒸镀器在审
| 申请号： | 202310193315.1 | 申请日： | 2023-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN116219371A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 桑春峰 | 申请（专利权）人： | 兆默半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙) 31355 | 代理人： | 雍常明 |
| 地址： | 200540 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种物理气象沉积真空蒸镀器，包括固定罩、活动罩和转盘，所述固定罩的前端活动安装有活动罩，所述固定罩内壁的底部固定安装有固定环，所述固定环的内侧固定连接有齿轮环，所述固定环的顶部转动安装有转盘，所述固定环内侧的转盘底部固定安装有电机，所述转盘的内侧转动连接有转杆，所述转盘顶部的转杆外侧固定安装有挂钩架。本发明通过设置有固定环、转杆与挂钩架之间的相互配合，使蒸镀更加均匀，通过设置有支撑台与固定柱之间的相互配合，可以提高材料的活跃性，可以提高蒸镀的效率，通过设置有固定罩、活动罩、密封圈与密封槽之间的相互配合，可以方便对固定罩与活动罩形成的空腔进行密封操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物理 气象 沉积 真空 蒸镀器 | ||
【主权项】：
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