[发明专利]一种真空腔室产品检漏装置及其检漏方法在审
| 申请号： | 202310176859.7 | 申请日： | 2023-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN116399520A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 邱佳林;年志强;邓重;罗友菊 | 申请（专利权）人： | 宣城开盛新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;G01M3/22;F16M11/42;F16M11/26 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 蒋兵魁 |
| 地址： | 242000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明属于真空腔室产品生产技术领域的真空腔室产品检漏装置。装置腔壁(1)通过第一管路(11)连通真空泵(8)，装置腔壁(1)同时通过第二管路(12)连通第一管路(11)，第二管路(12)上设置分子泵(5)，装置腔壁(1)同时通过第三管路(13)连通氦质谱检漏仪(10)，真空泵(8)通过第五管路(15)连通尾排管路(9)，氦质谱检漏仪(10)通过第六管路(16)连通尾排管路(9)。本发明所述的真空腔室产品检漏装置，能够灵活移动至现场对真空腔室产品检漏，解决了不便移动的机台抽真空才能检漏问题，保障检漏可靠性，适用于各种真空腔室产品检漏，杜绝有毒污染气体污染现场，保护现场作业环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 产品 检漏 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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