[发明专利]一种真空腔室产品检漏装置及其检漏方法

说明书

本发明属于真空腔室产品生产技术领域的真空腔室产品检漏装置。装置腔壁(1)通过第一管路(11)连通真空泵(8)，装置腔壁(1)同时通过第二管路(12)连通第一管路(11)，第二管路(12)上设置分子泵(5)，装置腔壁(1)同时通过第三管路(13)连通氦质谱检漏仪(10)，真空泵(8)通过第五管路(15)连通尾排管路(9)，氦质谱检漏仪(10)通过第六管路(16)连通尾排管路(9)。本发明所述的真空腔室产品检漏装置，能够灵活移动至现场对真空腔室产品检漏，解决了不便移动的机台抽真空才能检漏问题，保障检漏可靠性，适用于各种真空腔室产品检漏，杜绝有毒污染气体污染现场，保护现场作业环境。

技术领域

本发明属于各种腔室或腔室附加材料的检漏技术领域，更具体地说，是涉及一种真空腔室产品检漏装置。

背景技术

对于各种腔室或腔室附加材料(如真空腔室产品等产品，Cds指硫化镉)的检漏，需要使用到真空检漏设备。现有技术中通过检索可知：

检索1：专利CN201320423199.X公开了一种用于绝热气瓶漏率检测的检漏装置，包括检漏仪、第一组绝热气瓶、第二组绝热气瓶、与检漏仪连接的检漏回路、预抽机组和分流机组，一组绝热气瓶与检漏回路之间用第一管路连通，第二组绝热气瓶与检漏回路之间用第二管路连通。预抽机组与检漏回路之间用第三管路连通，分流机组通过第四管路同时与第一管路以及所述第二管路连通，检漏回路上设置有若干个真空阀。检漏时，在对某一组绝热气瓶进行分流抽气检漏时，同时对另一组绝热气瓶进行排气，依次循环。该实用新型具有的有益效果：能大大节约了时间、人力和能耗成本，提高了效率。另外，通过设定合适的分流比，能精确检测到绝热气瓶的实际漏率。

检索2：专利CN201510077300.4涉及一种真空检漏及封口装置，其包括活动杆、安装支架、密封罩、第一抽气管、充气管和第二抽气管、激光器和气体检测单元，所述活动杆用于移动所述安装支架，所述活动杆的一端连于所述安装支架且另一端连于动力源，所述安装支架用于安装待测的杯体，所述密封罩用于罩住待测的杯体并配合抽真空装置进行抽真空以及配合气体检测单元对待测的杯体进行检测，激光器用于对待测的杯体进行封口，所述激光器设于所述密封罩的上方。本发明还涉及一种采用上述真空检漏及封口装置进行真空检漏及封口方法。

检索3：专利CN201720310375.7提供一种真空镀膜腔体检漏系统，包括：被检真空腔体、检漏装置、电控系统，被检真空腔体下侧连接有检漏装置，电控系统连接控制检漏装置，所述被检真空腔体侧壁上装有破空装置I和真空检测元件I，所述检漏装置包括高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、真空检测元件、破空装置、氦质谱检漏仪、喷氦系统，高真空泵通过法兰盘直接安装在被检真空腔体的侧壁上，前级泵组I、前级泵组II通过真空管道串联，后通过高真空蝶阀I与高真空泵串联；该实用新型采用自动控制系统，对电气元器件具有一键操作功能；该实用新型具有检漏灵敏度高，能够精确定位漏孔位置并可定量评判漏点大小等优点。同时，该实用新型具有结构简单，易操作的优点。

检索4：专利CN201020653927.2公开了一种具有多箱功能的真空检漏系统，包括有真空箱、箱门、导轨、导轨车、气缸、电机、工件平台以及快速接头，所述的工件平台、箱门分别为两个，且箱门上分别安装有快速接头，所述各工件平台的一端分别铰接在对应的箱门上，所述工件平台另一端的分别用底部的气缸支撑，所述工件平台两侧分别设有水平导轨，所述工件平台的后端设有垂直导轨，所述真空箱在水平导轨上前、后移动，所述真空箱通过导轨车在垂直导轨上左、右移动。该实用新型整体结构简单，降低了加工精度的要求，提高了工作效率，而且系统安装维护方便，降低了成本，经济实用。