[发明专利]一种真空腔室产品检漏装置及其检漏方法

权利要求书

1.一种真空腔室产品检漏装置，其特征在于：包括装置腔壁(1)，装置腔壁(1)一面设置第一凹进腔，设置第一凹进腔的装置腔壁(1)一面设置第一边沿贴合部(19)，所述的装置腔壁(1)通过第一管路(11)连通真空泵(8)，装置腔壁(1)同时通过第二管路(12)连通第一管路(11)，第二管路(12)上设置分子泵(5)，装置腔壁(1)同时通过第三管路(13)连通氦质谱检漏仪(10)，真空泵(8)通过第五管路(15)连通尾排管路(9)，氦质谱检漏仪(10)通过第六管路(16)连通尾排管路(9)，第一管路(11)上设置第一阀门(21)，分子泵(4)和第一管路(11)之间的第二管路(12)上设置第二阀门(22)，第二管路(12)上的分子泵(5)和装置腔壁(1)之间设置板阀(4)，第三管路(13)上设置第三阀门(23)，待检漏真空腔室产品包括腔室产品腔壁(17)，腔室产品腔壁(17)一面设置第二凹进腔，设置第二凹进腔的腔室产品腔壁(17)一面设置第二边沿贴合部(18)，第二边沿贴合部(18)位置设置密封件，装置腔壁(1)同时通过第四管路(14)连通第四阀门(24)。

2.根据权利要求1所述的真空腔室产品检漏装置，其特征在于：所述的真空腔室产品检漏装置包括装置机架(7)，装置腔壁(1)和真空泵(8)均安装在装置机架(7)上，装置机架(7)底部安装多个移动轮(27)。

3.根据权利要求2所述的真空腔室产品检漏装置，其特征在于：所述的氦质谱检漏仪(10)安装在移动小车(29)上，或者，氦质谱检漏仪(10)安装在装置机架(7)上。

4.根据权利要求2或3所述的真空腔室产品检漏装置，其特征在于：所述的装置机架(7)上设置两个升降部件(3)，每个升降部件(3)分别包括升降部件固定件(25)和升降部件活动件(26)，每个升降部件固定件(25)和对应一个升降部件活动件(26)通过一个升降气缸(28)连接，装置腔壁(1)一侧连接一个升降部件活动件(26)，装置腔壁(1)另一侧连接另一个升降部件活动件(26)。

5.根据权利要求1或2所述的真空腔室产品检漏装置，其特征在于：所述的装置腔壁(1)同时通过第二管路(12)连通第一管路(11)的真空泵(8)和第一阀门(11)之间位置。

6.根据权利要求1或2所述的真空腔室产品检漏装置，其特征在于：所述的装置腔壁(1)上设置真空计(2)。

7.根据权利要求1或2所述的真空腔室产品检漏装置，其特征在于：所述的真空泵(8)、分子泵(5)分别连接控制部件。

8.根据权利要求7所述的真空腔室产品检漏装置，其特征在于：所述的板阀(4)、第一阀门(11)、第二阀门(12)、第三阀门(13)、第四阀门(14)为手动阀门或电动阀门，板阀(4)、第一阀门(11)、第二阀门(12)、第三阀门(13)、第四阀门(14)为电动阀门时，板阀(4)、第一阀门(11)、第二阀门(12)、第三阀门(13)、第四阀门(14)分别连接控制部件。