[发明专利]一种L~U波段的宽频RF MEMS单刀十掷开关在审

专利信息
申请号: 202310117744.0 申请日: 2023-02-15
公开(公告)号: CN116315524A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 吴倩楠;湛永鑫;李孟委 申请(专利权)人: 中北大学
主分类号: H01P1/12 分类号: H01P1/12;B81B7/02
代理公司: 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 代理人: 连慧敏
地址: 030051 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明属于RF MEMS技术领域,具体涉及一种L~U波段的宽频RF MEMS单刀十掷开关,所述输入信号线和十个输出信号线皆设置在介质衬底上,所述输入信号线的末端设有圆盘功分器,保证输入口到各输出口的长度基本相等,射频性能接近。本发明紧凑型设计,不仅使其具有体积小、集成度高的优点,还可以在提供十个通道选择的同时,节省了开关单个器件的使用。并且本发明通过对MEMS开关上电极的优化获得了低驱动电压和高隔离度,且在1~60GHz的工作范围内具有较高的隔离度和良好的插损性能。
搜索关键词: 一种 波段 宽频 rf mems 单刀 开关
【主权项】:
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