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[发明专利]一种X型上电极式MEMS单刀六掷开关-CN202310130628.2在审
发明人：吴倩楠;陈玉;李孟委;湛永鑫 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01P1/12 文献下载
摘要：本发明属于射频MEMS技术领域，具体涉及一种X型上电极式MEMS单刀六掷开关，包括衬底、微波传输线、开关组件、空气桥，所述微波传输线设置在衬底上，所述微波传输线包括输入信号线、功分器、输出信号线和地线，所述输入信号线设置有一条，所述输出信号线设置有六条，所述输入信号线与功分器连接，所述功分器通过开关组件与输出信号线连接。本发明的开关上电极采用X型双端固支梁结构，锚点与直板结构通过直角弯曲梁连接，间接增加上电极长度，降低了梁的弹性系数，进而减小驱动电压。下电极顶端采用半圆形结构，与信号线连接处采用漏斗型渐变结构，两种结构均可以减小上、下电极之间的耦合电容，提高开关的隔离度。另外，三个圆形触点并联，接触电阻变小，电流密度更均匀，从而达到改善插入损耗、提升开关功率容量的目的。
一种电极 mems 单刀开关

[发明专利]一种L~U波段的宽频RF MEMS单刀十掷开关-CN202310117744.0在审
发明人：吴倩楠;湛永鑫;李孟委 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01P1/12 文献下载
摘要：本发明属于RF MEMS技术领域，具体涉及一种L~U波段的宽频RF MEMS单刀十掷开关，所述输入信号线和十个输出信号线皆设置在介质衬底上，所述输入信号线的末端设有圆盘功分器，保证输入口到各输出口的长度基本相等，射频性能接近。本发明紧凑型设计，不仅使其具有体积小、集成度高的优点，还可以在提供十个通道选择的同时，节省了开关单个器件的使用。并且本发明通过对MEMS开关上电极的优化获得了低驱动电压和高隔离度，且在1~60GHz的工作范围内具有较高的隔离度和良好的插损性能。
一种波段宽频 rf mems 单刀开关

[发明专利]一种基于MEMS开关的高精度线性九位延时器-CN202211012334.1在审
发明人：吴倩楠;史泽民;湛永鑫;李孟委 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01P9/00 文献下载
摘要：本发明属于射频MEMS技术领域，具体涉及一种基于MEMS开关的高精度线性九位延时器，所述开关线型延时器单元设置有九个，所述九个开关线型延时器单元相级联，所述九个开关线型延时器单元均设置在衬底上，所述输入信号线的末端设有第一功分器，所述第一功分器的水平端连接输入信号线，所述第一功分器的上端连接有第一MEMS开关，所述功分器的下端连接在第二MEMS开关上，所述第一MEMS开关连接在延时参考传输线的一端，所述第二MEMS开关的连接在延时线的一端。本发明通过各分单元的控制可以在不增大延时器尺寸的前提下具有宽范围的延时量，通过MEMS开关对微波信号通过路径的控制，可以实现0～317ps的延时范围。
一种基于 mems 开关高精度线性延时器