[发明专利]一种实现FIB-TKD联用的样品夹具及扫描电镜检测系统在审
| 申请号： | 202310109572.2 | 申请日： | 2023-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN116242867A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张珂;范国华;曹国剑;罗雪莲;桂江涛;丁浩 | 申请（专利权）人： | 集萃新材料研发有限公司;长三角先进材料研究院 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 南京智造力知识产权代理有限公司 32382 | 代理人： | 汪芬 |
| 地址： | 215132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实现FIB‑TKD联用的样品夹具及扫描电镜检测系统，样品夹具包括样品座和可转动安装在样品座上的半铜网装夹片，样品座与扫描电镜样品台之间可拆卸连接；半铜网装夹片上设置至少一个半圆环槽，用于放置半铜网，每个半圆环槽配有压紧簧片用于对半圆环槽上的半铜网进行夹持固定；在样品座和半铜网装夹片之间设置定位单元，利用定位单元对转动一定角度后的半铜网装夹片位置进行固定。基于该样品夹具，本申请还提出了一种同时实现FIB制样与TKD实验的扫描电镜检测系统，包括TKD实验单元、制样系统等，利用样品夹具调节样品的位置可以快速、高效地制备出满足测试用的平面透射电镜样品，也能完成透射式EBSD(TKD)实验。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 fib tkd 联用 样品 夹具 扫描电镜 检测 系统 | ||
【主权项】：
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