[发明专利]一种实现FIB-TKD联用的样品夹具及扫描电镜检测系统

权利要求书

1.一种实现FIB-TKD联用的样品夹具，其特征在于，包括：

样品座(2)，所述样品座(2)与扫描电镜样品台(7)之间可拆卸连接；

半铜网装夹片(4)，所述半铜网装夹片(4)可转动安装在样品座(2)上；所述半铜网装夹片(4)上设置至少一个半圆环槽(4-1)，每个半圆环槽(4-1)配有压紧簧片(4-2)；压紧簧片(4-2)的一端为固定端，另一端为自由端且朝向半圆环槽(4-1)；

半铜网，所述半铜网用于支撑FIB切取的薄片样品且用于薄片厚度减薄；

定位单元，所述定位单元包括限位凸杆(4-5)和角度通孔(2-2)；所述限位凸杆(4-5)设在半铜网装夹片(4)上，在与限位凸杆(4-5)转动轨迹相对的样品座(2)上设置多个角度通孔(2-2)。

2.根据权利要求1所述的一种实现FIB-TKD联用的样品夹具，其特征在于，在压紧簧片(4-2)的固定端与自由端之间的半铜网装夹片(4)上开设凹槽(4-3)，在凹槽(4-3)内可滑动放置滑动片(4-4)，所述滑动片(4-4)上设置凸部，凸部高于无外力作用时压紧簧片(4-2)的高度。

3.根据权利要求1所述的一种实现FIB-TKD联用的样品夹具，其特征在于，所述半铜网装夹片(4)的两侧壁分别设置一个转轴，在样品座(2)开设与转轴相应的转轴孔；半铜网装夹片(4)的转轴分别插入转轴孔内。

4.根据权利要求3所述的一种实现FIB-TKD联用的样品夹具，其特征在于，至少一侧转轴与半铜网装夹片(4)可拆卸连接。

5.根据权利要求3或4所述的一种实现FIB-TKD联用的样品夹具，其特征在于，所述限位凸杆(4-5)设置在某个转轴所在的半铜网装夹片(4)侧壁上，且限位凸杆(4-5)与转轴平行设置。

6.根据权利要求5所述的一种实现FIB-TKD联用的样品夹具，其特征在于，在非安装限位凸杆(4-5)所在侧的转轴上套装弹簧(5)。

7.根据权利要求1所述的一种实现FIB-TKD联用的样品夹具，其特征在于，样品座(2)底部通过螺纹杆与扫描电镜样品台(7)连接，且螺纹杆上带有高度调节功能的限位块。

8.一种同时实现FIB制样与TKD实验的扫描电镜检测系统，其特征在于，包括：

扫描电镜样品台(7)，

权利要求1所述的一种实现FIB-TKD联用的样品夹具，所述样品夹具安装在扫描电镜样品台(7)上；所述样品夹具用于装夹半铜网以及改变半铜网及半铜网上待测样品的角度；

TKD实验单元，对半铜网上的样品进行TKD实验；

制样系统，所述制样系统包括FIB制样单元、样品提取单元、样品焊接单元、样品减薄单元；FIB制样单元从原始样品上提取出薄片样品；样品提取单元将薄片样品转移至样品夹具上的半铜网上；样品焊接单元对薄片样品和半铜网之间进行焊接固定；样品减薄单元对薄片样品进行厚度减薄。

9.根据权利要求8所述的一种同时实现FIB制样与TKD实验的扫描电镜检测系统，其特征在于，样品提取单元采用机械手臂，对样品进行提取和转移。

10.根据权利要求8所述的一种同时实现FIB制样与TKD实验的扫描电镜检测系统，其特征在于，样品焊接单元采用小束流Pt将薄片样品两侧分别与半铜网之间焊接固定。