[发明专利]一种基于轻量级网络的划痕缺陷检测方法、装置以及设备在审
| 申请号： | 202310081860.1 | 申请日： | 2023-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN116228686A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 陈嘉劼;林志阳 | 申请（专利权）人： | 厦门特仪科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06V10/26;G06V10/82;G06V20/70;G06N3/0455 |
| 代理公司： | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人： | 陈蓓蓓 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市同安区集成*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于轻量级网络的划痕缺陷检测方法、装置、设备及存储介质，其包括：获取晶圆衬底图像并进行预处理，以构建训练样本数据集；将所述训练样本数据集输入所构建的划痕缺陷检测模型进行训练，并通过预设损失函数计算权重参数后输入所述划痕缺陷检测模型进行优化，其中，所述划痕缺陷检测模型基于DeeplabV3plus模型并采用Mobilenetv3作为主干网络进行构建；输入待检测图像至所述划痕缺陷检测模型，得到检测结果。能够快速实现不明显晶圆划痕缺陷的定位分割，能够提高图像的分割精度以及准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 轻量级 网络 划痕 缺陷 检测 方法 装置 以及 设备 | ||
【主权项】：
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