[发明专利]氮化物PN结肖特基二极管及制备方法在审
| 申请号： | 202310080426.1 | 申请日： | 2023-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN116153965A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 薛军帅;李泽辉;吴冠霖;袁金渊;郭壮;李祖懋;张进成;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/20;H01L29/872;H01L21/329 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种氮化物PN结肖特基二极管，主要解决现有垂直型氮化物肖特基二极管击穿电压低的问题。其自下而上包括阴极(5)、衬底(1)、n |
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| 搜索关键词： | 氮化物 pn 结肖特基 二极管 制备 方法 | ||
【主权项】：
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