[发明专利]一种利用化学气相输运沉积制备高纯低氧钛的方法有效
| 申请号： | 202310062638.7 | 申请日： | 2023-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN115786737B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 朱灏;谭成文;于晓东;李迅;刘丽君 | 申请（专利权）人： | 海朴精密材料（苏州）有限责任公司 |
| 主分类号： | C22B34/12 | 分类号： | C22B34/12;C22B9/05;C22B9/04 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 刘璞 |
| 地址： | 215211 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于超纯钛制备技术领域，具体涉及一种利用化学气相输运沉积制备高纯低氧钛的方法。包括：将精炼室和装有凝聚态高价卤化钛的容器互相连通；将粗钛和基体放入精炼室中，然后抽真空；加热容器以提高高价卤化钛的蒸气压为72‑177 Pa，停止抽真空，通过高价卤化钛的蒸气压控制精炼室的压力，进入精炼室中的高价卤化钛接触粗钛时反应生成低价卤化钛；低价卤化钛接触基体时热分解生成卤素气体并在基体表面沉积高纯低氧钛；卤素气体接触粗钛时反应再次生成低价卤化钛；上述过程循环往复，不断生成高纯低氧钛。本发明可获得纯度5N5以上、氧含量80ppm以下、致密度98.5%以上钛材料，且高价值卤化物用量极少，精炼成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 化学 输运 沉积 制备 高纯 低氧 方法 | ||
【主权项】：
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