[发明专利]一种真空镀膜用同步翻转的工件架在审
| 申请号： | 202310055862.3 | 申请日： | 2023-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN116288222A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘宸佳;李晓刚 | 申请（专利权）人： | 江苏索腾真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 仲红敏 |
| 地址： | 214442 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜用同步翻转的工件架，涉及真空镀膜技术领域。本发明包括中心轴、工件架体和升降架，升降架包括圆环状的底板和顶板，顶板设置在中心轴顶端周侧面并与中心轴转动连接，顶板顶部边缘处固定有若干气缸，若干气缸输出端贯穿顶板并固定有外板体，外板体底部边缘处固定有若干连杆，若干连杆底端固定有内板体，底板通过若干下杆件固定在内板体底部，底板内侧转动连接有内环体，内环体顶部固定有外齿圈，内环体沿着中心轴上下滑动。本发明通过设计可转动式的中心轴，可驱动中心轴和外齿圈同步转动，配合角度恒定的分架体和齿轮，可同步带动所有分架体同时翻转，自动化工作，工作效率较高且安全性较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 同步 翻转 工件 | ||
【主权项】：
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