[发明专利]一种真空镀膜用同步翻转的工件架

说明书

本发明公开了一种真空镀膜用同步翻转的工件架，涉及真空镀膜技术领域。本发明包括中心轴、工件架体和升降架，升降架包括圆环状的底板和顶板，顶板设置在中心轴顶端周侧面并与中心轴转动连接，顶板顶部边缘处固定有若干气缸，若干气缸输出端贯穿顶板并固定有外板体，外板体底部边缘处固定有若干连杆，若干连杆底端固定有内板体，底板通过若干下杆件固定在内板体底部，底板内侧转动连接有内环体，内环体顶部固定有外齿圈，内环体沿着中心轴上下滑动。本发明通过设计可转动式的中心轴，可驱动中心轴和外齿圈同步转动，配合角度恒定的分架体和齿轮，可同步带动所有分架体同时翻转，自动化工作，工作效率较高且安全性较高。

技术领域

本发明属于真空镀膜技术领域，特别是涉及一种真空镀膜用同步翻转的工件架。

背景技术

真空镀膜内上部设置伞状的工件架用于工件的放置支撑，而由于部分工件需要双面镀膜，工件朝上的表面无法镀膜，此时需要对工件进行翻转和翻面，由于工件架上工件数量较多，同时镀膜箱远离箱门的工件由于空间局限性不易操作，固定式的工件架需要配合手动翻料，会影响工作效率同时可能会对工件造成损伤。

若是将工件架分为多个分架体，通过翻转机构同步控制分架体的翻转，则可极大提高工作效率，然而由于工件架轴心处需要配备竖直式的晶控，占用一定空间，可能会造成翻转机构不易设计和布置的问题，同时工件架与镀膜箱顶部之间的距离相对较短，不利于分架体的翻转，可能会出现干涉情况的出现。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空镀膜用同步翻转的工件架，通过设计可转动式的中心轴，可驱动中心轴和外齿圈同步转动，配合角度恒定的分架体和齿轮，可同步带动所有分架体同时翻转，自动化工作，工作效率较高且安全性较高。

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

本发明为一种真空镀膜用同步翻转的工件架，包括中心轴、工件架体和升降架；

所述升降架包括圆环状的底板和顶板；

所述顶板设置在中心轴顶端周侧面并与中心轴转动连接，所述顶板顶部边缘处固定有若干气缸，若干所述气缸输出端贯穿顶板并固定有外板体，所述外板体底部边缘处固定有若干连杆，若干所述连杆底端固定有内板体，所述底板通过若干下杆件固定在内板体底部；

所述底板内侧转动连接有内环体，所述内环体顶部固定有外齿圈，所述内环体沿着中心轴上下滑动，所述内环体与中心轴之间设有导向件；

所述底板顶部边缘处呈环状固定有若干安装座，所述安装座与下杆件位置交错；

所述工件架体由若干分架体组成，若干所述分架体呈环状设置在底板外侧；

所述分架体内侧固定有转轴，所述转轴端部固定有齿轮，所述转轴贯穿安装座并通过轴承与安装座转动连接，所述齿轮与外齿圈啮合；

所述中心轴顶端且位于顶板下部的位置固定有上齿轮，所述顶板上设有与上齿轮传动连接的驱动机构。

进一步地，所述中心轴贯穿设置在镀膜箱体顶部，所述中心轴与镀膜箱体之间设有磁流密封。

进一步地，所述中心轴为中空轴体，所述中心轴内设有晶控。

进一步地，所述外板体位于镀膜箱体上方，所述内板体位于镀膜箱体内上部，所述连杆贯穿镀膜箱体顶部并与镀膜箱体滑动连接。

进一步地，所述连杆与镀膜箱体顶部之间设有滑动密封件，所述镀膜箱体内部设有与外板体位置相对的垫板。

进一步地，所述驱动机构包括电机减速器，所述电机减速器固定在顶板上并与若干气缸位置互不干涉，所述电机减速器输出端固定有与上齿轮啮合的驱动齿。

进一步地，所述外齿圈为斜齿齿圈，所述安装座倾斜设置在底板上，所述转轴与安装座垂直分布。