[发明专利]一种光罩的制作方法及所制得光罩的应用

摘要

本发明提供了一种光罩的制作方法及所制得光罩的应用，该制作方法包括步骤S1、将所述光罩划分为透光区域和不透光区域，二者间通过设置在所述光罩上的框架分隔开；所述透光区域设置在所述框架内，而所述不透光区域设置在所述框架外；步骤S2、在所述透光区域内设置不透光的第一图形和第二图形；所述第一图形的数量为多个，且间隔布设在所述透光区域内的中部；所述第二图形的数量为多个，且环向间隔设置在所有第一图形的外部；所述第二图形的宽度尺寸小于所述第一图形的宽度尺寸。该应用是将所述制作方法制得的光罩在生产图形化衬底方面的应用。本发明能够解决因曝光区域拼接处曝光能量不足带来的曝光视场边缘图形形变，成品率降低的问题。