[发明专利]一种基于探针台高度的补偿方法、装置及电子设备在审
| 申请号： | 202310038274.9 | 申请日： | 2023-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN116047268A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 王洪洲;裴兵全;郭凯程;宗俊吉;赵永进 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 王震 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种基于探针台高度的补偿方法、装置及电子设备，方法包括：响应于探针台启动操作，将待测试器件置于可移动承片台上，并通过自动补偿机构完成测试探针与待测试器件之间的对准矫正；通过温控箱控制可移动承片台升高/降低并稳定至目标工艺温度；控制多个测距传感器分别测量与可移动承片台之间的垂向距离；对获得的多个垂向距离进行拟合计算，确定可移动承片台对应的垂向补偿值；根据垂向补偿值控制可移动承片台进行移动，以完成对可移动承片台的高度校准。本申请通过自动补偿机构完成对承片台高度补偿，提高待测试器件测试准确性，提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 探针 高度 补偿 方法 装置 电子设备 | ||
【主权项】：
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