[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法在审
| 申请号： | 202310029963.3 | 申请日： | 2023-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN116426881A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 竹中贵史;武田笃 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀装置及蒸镀方法。根据一个实施方式，在蒸镀方法中，准备在基板上形成有下电极、具有与所述下电极重叠的开口的肋部、和隔壁的处理基板，其中，该隔壁包含配置在所述肋部之上的下部及配置在所述下部之上并从所述下部的侧面突出的上部，将从第1蒸镀头喷出的第1材料的蒸气的扩展角度设定为第1角度，在所述处理基板上蒸镀所述第1材料，将从第2蒸镀头喷出的第2材料的蒸气的扩展角度设定为比所述第1角度大的第2角度，在蒸镀有所述第1材料的所述处理基板上蒸镀所述第2材料。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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