[发明专利]一种避免晶圆表面划伤的晶圆夹具

摘要

本发明公开了一种避免晶圆表面划伤的晶圆夹具，包括固定罩，所述固定罩内侧的底部安装有支撑外环，且所述固定罩下端的内侧连接有支撑内环，并且所述固定罩的上方设置有移动环；还包括：下移动杆，贯穿所述支撑内环的内部，且所述下移动杆通过下压缩弹簧与所述支撑内环弹性连接。该避免晶圆表面划伤的晶圆夹具，设置有调节杆，驱动固定块移动，可利用支撑板的转动，带动调节杆移动，使得调节杆处于可对下移动杆和上移动杆推动的位置，使得放置架和锁定压板适应晶圆的尺寸调整位置，此过程保证等角度分布的放置架和等角度分布的锁定压板的所在位置平面圆心和晶圆位于同一竖直线上，避免晶圆的夹持位置出现偏差，使得晶圆的边缘受力均衡。