[发明专利]一种避免晶圆表面划伤的晶圆夹具

权利要求书

1.一种避免晶圆表面划伤的晶圆夹具，包括固定罩(1)，所述固定罩(1)内侧的底部安装有支撑外环(3)，且所述固定罩(1)下端的内侧连接有支撑内环(2)，并且所述固定罩(1)的上方设置有移动环(16)；

其特征在于：还包括：

下移动杆(5)，贯穿所述支撑内环(2)的内部，且所述下移动杆(5)通过下压缩弹簧(4)与所述支撑内环(2)弹性连接，并且所述下移动杆(5)的另一端连接有放置架(6)；

丝杆(14)，转动连接在所述固定罩(1)内侧的底部，且所述丝杆(14)设置在所述支撑内环(2)和所述支撑外环(3)之间，并且所述丝杆(14)的外侧螺纹连接有固定板a(15)，所述固定板a(15)安装在所述移动环(16)的外侧，且所述移动环(16)的另一侧安装有固定板b(17)，所述固定板b(17)的内部贯穿有固定杆(18)，且所述固定杆(18)安装在所述固定罩(1)内侧的底部，并且所述固定杆(18)设置在所述支撑内环(2)和所述支撑外环(3)之间；

上移动杆(19)，贯穿所述移动环(16)，且所述上移动杆(19)通过上压缩弹簧(20)与所述移动环(16)弹性连接，并且所述上移动杆(19)的另一端安装有锁定压板(21)。

2.根据权利要求1所述的一种避免晶圆表面划伤的晶圆夹具，其特征在于：所述固定罩(1)的内侧设置有固定块(10)，且相邻2个所述固定块(10)之间通过连接杆(11)连接，并且左方位置的所述固定块(10)的下侧连接有螺纹杆(12)，同时所述螺纹杆(12)贯穿所述固定罩(1)的底侧面，所述螺纹杆(12)下方的外侧螺纹连接有固定螺母(13)。

3.根据权利要求2所述的一种避免晶圆表面划伤的晶圆夹具，其特征在于：所述固定块(10)的外侧铰接连接有支撑杆(9)，且所述支撑杆(9)远离所述固定块(10)的一端铰接连接有调节杆(8)，并且所述调节杆(8)下方的外侧安装有限位滑杆(7)，所述限位滑杆(7)贯穿所述支撑外环(3)。

4.根据权利要求1所述的一种避免晶圆表面划伤的晶圆夹具，其特征在于：所述固定罩(1)的主剖面为侧“U”形结构，且所述固定罩(1)的内侧高度高于所述支撑内环(2)和所述支撑外环(3)的高度。

5.根据权利要求1所述的一种避免晶圆表面划伤的晶圆夹具，其特征在于：所述下移动杆(5)贯穿所述支撑内环(2)的侧壁与所述放置架(6)连接，且所述放置架(6)为“L”形结构，并且所述放置架(6)关于所述支撑内环(2)的纵向中心线等角度分布。

6.根据权利要求1所述的一种避免晶圆表面划伤的晶圆夹具，其特征在于：所述放置架(6)和所述锁定压板(21)的位置一一对应设置，且夹持状态下所述放置架(6)和所述锁定压板(21)之间为凹凸配合。

7.根据权利要求3所述的一种避免晶圆表面划伤的晶圆夹具，其特征在于：所述限位滑杆(7)贯穿所述支撑外环(3)并与所述支撑外环(3)滑动连接，且所述限位滑杆(7)贯穿所述支撑外环(3)的侧壁与所述调节杆(8)连接，并且所述调节杆(8)的上端为光滑弧形结构。

8.根据权利要求2所述的一种避免晶圆表面划伤的晶圆夹具，其特征在于：所述连接杆(11)的俯视面为弧形结构，且所述连接杆(11)连接在等角度分布的所述固定块(10)之间。

9.根据权利要求1所述的一种避免晶圆表面划伤的晶圆夹具，其特征在于：所述移动环(16)的竖直中心线和所述支撑内环(2)的竖直中心线相互重合，且初始状态下所述移动环(16)所在平面和所述固定罩(1)所在平面之间的最短距离大于晶圆的厚度。

10.根据权利要求1所述的一种避免晶圆表面划伤的晶圆夹具，其特征在于：所述上移动杆(19)贯穿所述移动环(16)的侧壁与所述锁定压板(21)连接，且所述锁定压板(21)为“7”字形结构，并且所述锁定压板(21)关于所述移动环(16)的竖直中心线等角度分布。