[发明专利]一种半导体焊接机构在审
申请号: | 202310012580.5 | 申请日: | 2023-01-05 |
公开(公告)号: | CN116038088A | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 郑宝燕 | 申请(专利权)人: | 深圳市明远自动化设备有限公司 |
主分类号: | B23K20/00 | 分类号: | B23K20/00;B23K20/26 |
代理公司: | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人: | 娄会敏 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及半导体加工辅助设备技术领域,具体为一种半导体焊接机构;直驱定子通过定子安装件与外壳组件连接,直驱转子装配在直驱定子的内圈;角度检测组件安装在直驱电机装配在直驱电机上;转轴组件通过第一轴承和第二轴承转动设置在外壳组件内部;直驱转子通过转子安装件与转轴组件连接,并驱动转轴组件在外壳组件内转动;音圈电机安装在转轴组件内部;采用本发明,将DD马达直驱电机与音圈电机整合,进行执行端的转动量控制,结合音圈电机实现了末端的伸缩连架的精确伸缩运动控制;焊接头固定在本机构上,可以实现了焊接头在短行程内的精确控制,适应半导体行业加工的需求,提升整体半导体焊接加工的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 焊接 机构 | ||
【主权项】:
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