[发明专利]用于可变间距进出的真空机器人装置在审
| 申请号： | 202280017908.6 | 申请日： | 2022-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN116940445A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 拉尹库曼·塔努;杰弗里·C·赫金斯;卡鲁帕萨米·穆图马克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B25J9/04 | 分类号： | B25J9/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 提供一种具有可变端效器间距的机器人装置，其适合于适应(例如)两个相邻处理腔室之间或两个相邻装载锁定腔室之间的变化间距。机器人装置可在双基板搬运模式、单基板搬运模式或其组合下操作。机器人装置也可以是离轴机器人。描述了根据各种实施方式的多种机器人装置、包括这些机器人装置的电子器件处理系统，及其使用方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 可变 间距 进出 真空 机器人 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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