[发明专利]制备有机锡化合物的方法在审
| 申请号： | 202280014585.5 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN116888133A | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | D·M·埃默特;T·H·鲍姆;T·M·卡梅龙 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | C07F7/22 | 分类号： | C07F7/22 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于制备具有烷基和烷基氨基或烷基和烷氧基取代基的某些有机锡化合物的便利方法。所述方法提供高纯度形式的所述有机锡化合物，所述有机锡化合物尤其适于用作在例如用于制造某些微电子装置的极紫外光(EUV)光刻技术中沉积高纯度氧化锡膜的前体。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 有机 化合物 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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