[实用新型]一种便于晶圆蚀刻的清洗花篮

摘要

本实用新型公开了一种便于晶圆蚀刻的清洗花篮，包括清洗花篮，所述清洗花篮中部镂空，前后两侧边设有多个对称的晶圆放置槽，所述晶圆放置槽从左到右等距分布，所述晶圆放置槽内容纳有晶圆，所述晶圆可在晶圆放置槽内自由转动。本实用新型通过设置的清洗花篮，其外形尺寸能完美契合2寸产线，通过其上设置的晶圆放置槽容纳1寸晶圆，能利用现有设备2寸线加工1寸线，完美契合2寸线生产1寸线黄光以及蚀刻站需求，清洗花篮上的镂空结构，使晶圆能充分与刻蚀液接触，增加反应速率，进而提高生产效率，并且多个等距分布的晶圆放置槽，使得每个晶圆各部分的反应速度趋于一致，从而达到晶圆沟槽刻蚀均匀性的目的，缩短了生产周期，适合批量生产。