[实用新型]一种立式数控真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 202223581627.X 申请日: 2022-12-30
公开(公告)号: CN219010446U 公开(公告)日: 2023-05-12
发明(设计)人: 王伟平;王金泉;王菊姿 申请(专利权)人: 莱糸真空科技(常州)有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56;C23C14/24
代理公司: 北京鑫知翼知识产权代理事务所(普通合伙) 11984 代理人: 孙长江
地址: 213000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种立式数控真空镀膜机,涉及真空镀膜机结构技术领域,为解决现有的立式数控真空镀膜机在对物体进行镀膜的时候,需要对物体进行翻转,从而对物体表面进行镀膜,这样使镀膜的效率不高的问题。所述镀膜机上端安装有冷却装置,所述冷却装置的下端安装有电加热装置,所述电加热装置的下方安装有靶材,所述镀膜机的一端设置有连接座,所述连接座的一侧安装有抽真空管,所述抽真空管的一端安装有真空泵,所述镀膜机内壁的两侧均安装有直线电机,所述直线电机的一端安装有移动座,所述移动座的一侧安装有电机,所述电机的一侧安装有安装箱,所述安装箱的内部安装有电动气缸,所述电动气缸的一侧安装有夹持板。
搜索关键词: 一种 立式 数控 真空镀膜
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