[实用新型]一种立式数控真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种立式数控真空镀膜机，涉及真空镀膜机结构技术领域，为解决现有的立式数控真空镀膜机在对物体进行镀膜的时候，需要对物体进行翻转，从而对物体表面进行镀膜，这样使镀膜的效率不高的问题。所述镀膜机上端安装有冷却装置，所述冷却装置的下端安装有电加热装置，所述电加热装置的下方安装有靶材，所述镀膜机的一端设置有连接座，所述连接座的一侧安装有抽真空管，所述抽真空管的一端安装有真空泵，所述镀膜机内壁的两侧均安装有直线电机，所述直线电机的一端安装有移动座，所述移动座的一侧安装有电机，所述电机的一侧安装有安装箱，所述安装箱的内部安装有电动气缸，所述电动气缸的一侧安装有夹持板。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机结构技术领域，具体为一种立式数控真空镀膜机。

背景技术

立式真空镀膜机主要是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，一般是加热靶材使靶材表面组分以原子或离子的形式被蒸发出现，并沉降在需要镀膜的物体的表面，从而形成薄膜，这样能够很好对物体的表面进行防护。

中国专利授权公告号CN208917295U，授权公告日2019年05月31日，一种立式数控真空镀膜机，属于真空镀膜机领域，一种立式数控真空镀膜机包括立式镀膜室和工件架，工件架位于立式镀膜室的内部，工件架包括转盘、至少一个的螺纹轴、以及若干可调工件放置件，螺纹轴的一端插在转盘上，且螺纹轴与转盘可转动连接，螺纹轴上具有多段外螺纹，每段外螺纹均螺接有一个可调工件放置件。立式数控真空镀膜机的工件架能根据放置的不同规格工件进行调整。

但是现有的立式数控真空镀膜机在对物体进行镀膜的时候，需要对物体进行翻转，从而对物体表面进行镀膜，这样使镀膜的效率不高，因此市场上急需一种立式数控真空镀膜机来解决这些问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种立式数控真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出现有的立式数控真空镀膜机在对物体进行镀膜的时候，需要对物体进行翻转，从而对物体表面进行镀膜，这样使镀膜的效率不高的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种立式数控真空镀膜机，包括镀膜台，所述镀膜台的上方安装有镀膜机，所述镀膜机的一端安装有密封箱门，所述镀膜机上端安装有冷却装置，所述冷却装置的下端安装有电加热装置，所述电加热装置的下方安装有靶材，所述冷却装置的一端设置有进水座，所述进水座的下端设置有出水座，所述镀膜机的一端设置有连接座，所述连接座的一侧安装有抽真空管，所述抽真空管的一端安装有真空泵，所述镀膜机内壁的两侧均安装有直线电机，所述直线电机的一端安装有移动座，所述移动座的一侧安装有电机，所述电机的一侧安装有安装箱，所述安装箱的内部安装有电动气缸，所述电动气缸的一侧安装有夹持板，所述夹持板的一端安装有防护垫，所述镀膜机的内部安装有放置座。

优选的，所述镀膜台的一侧设置有控制装置，所述镀膜台的下方安装有支撑脚，所述支撑脚设置有四个，四个所述支撑脚关于镀膜台的垂直中心线相对称。

优选的，所述冷却装置的上端设置有固定脚，所述固定脚与镀膜机之间通过固定螺钉固定连接。

优选的，所述进水座的一侧安装有进水管一，所述进水管一的一侧安装有进水管二，所述进水管二的一侧安装有冷却水箱，所述出水座的一侧安装有回流管一，所述回流管一的一侧安装有回流管二，所述回流管二的一端位于冷却水箱的内部。

优选的，所述直线电机设置有两个，两个所述直线电机关于镀膜机的垂直中心线相对称。

优选的，所述电机的一端设置有安装脚，所述安装脚与移动座之间通过紧固螺钉固定连接，所述电机的一端设置有连接板，所述连接板与安装箱之间通过安装螺钉固定连接。

优选的，所述电动气缸设置有两个，所述电动气缸的一端设置有伸缩杆，所述伸缩杆的一端设置有安装板，所述安装板与夹持板之间通过连接螺钉固定连接，所述防护垫与夹持板之间通过胶粘连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：