[实用新型]一种法兰组件及半导体设备有效
| 申请号： | 202223566394.6 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN218992403U | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 李亚强;王泽桦;肖蕴章;陈炳安;钟国仿 | 申请（专利权）人： | 深圳市纳设智能装备有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/06 | 分类号： | F16K3/06;H01L21/67;F16K3/30;F16K27/04 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 王雪桃 |
| 地址： | 518107 广东省深圳市光明*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种法兰组件及半导体设备；该法兰组件包括法兰本体；法兰本体上开设有连通通道；连通通道连通第一腔室和第二腔室；连通通道靠近第二腔室的一侧设置有密封阀；法兰组件还包括挡板组件；挡板组件包括挡板；挡板位于第一腔室内；挡板能够相对连通通道移动，以实现对连通通道的遮挡或解除遮挡。本申请的法兰组件，当晶圆在第一腔室内进行反应时，挡板移动至遮挡连通通道的状态，其为连通通道和密封阀创造了独立空间，有效避免了连通通道和密封阀暴露在第一腔室的反应环境中，从根源上解决了连通通道内和密封阀周围附着副产物及尾气衍生物的问题；当连通通道的密封阀打开时，不再有颗粒物飘散至晶圆表面，有效保证了晶圆的表面质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 法兰 组件 半导体设备 | ||
【主权项】：
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