[实用新型]一种基于压阻检测方式的∧型MEMS温度传感器有效
| 申请号： | 202223556848.1 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN218937595U | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 郭文静 | 申请（专利权）人： | 太原工业学院 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16;B81B7/02 |
| 代理公司： | 太原华弈知识产权代理事务所 14108 | 代理人： | 李毅 |
| 地址： | 030008 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 一种基于压阻检测方式的∧型MEMS温度传感器，包括玻璃基板、固定锚区、∧型应变梁和折叠梁，固定锚区由固定在玻璃基板上的折叠梁固定锚点及∧型应变梁固定锚点构成，∧型应变梁包括第一温度形变梁和第二温度形变梁，一端通过应变梁连接点连接，另一端分别固定在∧型应变梁固定锚点上，折叠梁的口字型折叠梁分别通过折叠梁连接梁和锚点连接梁与应变梁连接点和折叠梁固定锚点连接，在口字型折叠梁的四个角部设置4个压敏电阻。本实用新型的∧型MEMS温度传感器结构可靠，在小体积、低成本、可批量生产、高可靠性等方面具有优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 检测 方式 mems 温度传感器 | ||
【主权项】：
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