[实用新型]一种基于压阻检测方式的∧型MEMS温度传感器

权利要求书

1.一种基于压阻检测方式的∧型MEMS温度传感器，由玻璃基板，以及由体硅加工工艺一体加工得到的固定锚区、∧型应变梁和折叠梁构成，

所述固定锚区由一个折叠梁固定锚点以及位于折叠梁固定锚点两侧的两个∧型应变梁固定锚点构成，所述固定锚区固定连接在玻璃基板上，用于支撑∧型应变梁和折叠梁整体结构；

所述∧型应变梁包括成对称结构设置的第一温度形变梁和第二温度形变梁，所述第一温度形变梁和第二温度形变梁的一端通过一个应变梁连接点连接在一起，另一端分别固定在固定锚区的两个∧型应变梁固定锚点上；

所述折叠梁由口字型折叠梁、压敏电阻、折叠梁连接梁和锚点连接梁构成，所述口字型折叠梁的上梁通过折叠梁连接梁与应变梁连接点连接，下梁通过锚点连接梁连接在固定锚区的折叠梁固定锚点上，在所述口字型折叠梁的四个角部设置有4个压敏电阻。

2.根据权利要求1所述的基于压阻检测方式的∧型MEMS温度传感器，其特征是∧型应变梁和折叠梁可在玻璃基板所在表面自由运动，运动方式为形变位移。

3.根据权利要求1所述的基于压阻检测方式的∧型MEMS温度传感器，其特征是所述口字型折叠梁上的压敏电阻分布在口字型折叠梁四个角部的上表面。

4.根据权利要求1所述的基于压阻检测方式的∧型MEMS温度传感器，其特征是所述折叠梁连接梁一端连接在应变梁连接点上，另外一端连接在口字型折叠梁的上梁中点。

5.根据权利要求1所述的基于压阻检测方式的∧型MEMS温度传感器，其特征是所述锚点连接梁一端与口字型折叠梁的下梁中点相连，另外一端与折叠梁固定锚点相连。