[实用新型]炉门系统及具有炉门系统的高温刻蚀炉有效
| 申请号： | 202223540536.1 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN219223327U | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 郑冬;徐春阳;周慧娟 | 申请（专利权）人： | 楚赟科技（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 吴浩 |
| 地址： | 311800 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种炉门系统及具有炉门系统的高温刻蚀炉，涉及高温刻蚀炉的技术领域。炉门系统包括安装部，安装部上开设有连通部；安装部上设置对称设置有第一炉门和第二炉门，且第一炉门和第二炉门均与连通部盖合适配；第一炉门上设置第一止动键，第二炉门上开设第一止动槽，当第一炉门盖合连通部时，第一止动键卡接于第一止动槽；第二炉门上设置第二止动键，第一炉门上开设第二止动槽，当第二炉门盖合于所述连通部时，第二止动键卡接第二止动槽；高温刻蚀炉上安装有炉门系统。本实用新型的炉门系统能够缩短炉体内腔暴露在空气中的时间，有利于提高生产效率，还能避免在对炉门进行维护时，炉门之间发生相互撞击而损坏炉门。 | ||
| 搜索关键词： | 炉门 系统 具有 高温 刻蚀 | ||
【主权项】：
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