[实用新型]炉门系统及具有炉门系统的高温刻蚀炉

权利要求书

1.一种炉门系统，其特征在于，包括安装部，所述安装部用于安装在炉体开口，所述安装部上开设有连通部，所述连通部与炉体开口连通；

所述安装部上铰接设置有第一炉门和第二炉门，所述第一炉门和第二炉门对称设置，且所述第一炉门和第二炉门均与所述连通部盖合适配，用于将所述炉体与外部连通或隔离；

所述第一炉门上设置有第一止动键，所述第二炉门上开设有第一止动槽，当所述第一炉门盖合于所述连通部时，所述第一止动键卡接于所述第一止动槽；

所述第二炉门上设置有第二止动键，所述第一炉门上开设有第二止动槽，当所述第二炉门盖合于所述连通部时，所述第二止动键卡接于所述第二止动槽。

2.根据权利要求1所述的炉门系统，其特征在于，所述第一止动槽与所述第二止动槽呈对角设置。

3.根据权利要求1所述的炉门系统，其特征在于，所述第一炉门包括第一转动部，所述第一转动部与所述安装部转动连接，且所述第二止动槽位于所述第一转动部；

所述第二炉门包括第二转动部，所述第二转动部与所述安装部转动连接，且所述第一止动槽位于所述第二转动部。

4.根据权利要求3所述的炉门系统，其特征在于，所述第一止动键位于所述第一炉门相对远离第一转动部的一侧；

所述第二止动键位于所述第二炉门相对远离第二转动部的一侧。

5.根据权利要求3所述的炉门系统，其特征在于，所述第一转动部位于自身与所述安装部的转动连接处设置有第一限位部，所述限位部与所述安装部相互抵触并可发生相对转动，所述第二止动槽位于所述第一限位部；

所述第二转动部位于自身与所述安装部的转动连接处设置有第二限位部，所述第二限位部与所述安装部相互抵触并可发生相对转动，所述第一止动槽位于所述第二限位部。

6.根据权利要求1所述的炉门系统，其特征在于，所述安装部上设置有贴合部；

当所述第一炉门盖合于所述连通部时，所述贴合部与所述第一炉门相互抵触并相互密封；

当所述第二炉门盖合于所述连通部时，所述贴合部与所述第二炉门相互抵触并相互密封。

7.根据权利要求6所述的炉门系统，其特征在于，所述安装部位于所述贴合部周侧设置有固定部，所述固定部用于固定盖合在所述连通部的所述第一炉门或第二炉门。

8.根据权利要求1所述的炉门系统，其特征在于，所述第一炉门相对远离安装部的一侧设置有第一把手，所述第一把手用于操作人员的握持。

9.根据权利要求1所述的炉门系统，其特征在于，所述第二炉门相对远离安装部的一侧设置有第二把手，所述第二把手用于操作人员的握持。

10.一种高温刻蚀炉，其特征在于，包括刻蚀炉体，所述刻蚀炉体设置有如权利要求1至9任一项所述的炉门系统。