[实用新型]真空镀膜机腔体冷却装置有效
| 申请号： | 202223487187.1 | 申请日： | 2022-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN218932291U | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 宋杉 | 申请（专利权）人： | 武汉特光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 武汉河山金堂专利事务所(普通合伙) 42212 | 代理人： | 丁齐旭 |
| 地址： | 430000 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜机腔体技术领域，具体公开了真空镀膜机腔体冷却装置，包括用于真空镀膜的镀膜腔体、设置于镀膜腔体两侧的密封部件一和密封部件二以及设置在镀膜腔体内腔内侧的冷却部件；所述镀膜腔体的内侧设置有冷却腔，所述冷却腔的内侧填充有可供冷却循环的填充物，且与冷却部件的内侧相连通；本实用新型通过设置的镀膜腔体配合内部的内腔和设置的冷却腔，可通过外接循环设备，比如冷水机的方式，让用以冷却的填充物可以进行循环，且通过设置的冷却部件，与冷却的填充物进行充分的接触，即可实现换热。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 机腔体 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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