[实用新型]真空镀膜机腔体冷却装置

权利要求书

1.一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括用于真空镀膜的镀膜腔体(1)、设置于镀膜腔体(1)两侧的密封部件一(3)和密封部件二(4)以及设置在镀膜腔体(1)内腔(13)内侧的冷却部件(12)；

其特征在于：

所述镀膜腔体(1)的内侧设置有冷却腔(15)，所述冷却腔(15)的内侧填充有可供冷却循环的填充物，且与冷却部件(12)的内侧相连通。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于：所述镀膜腔体(1)的外侧中部设置有支撑部件(2)，所述支撑部件(2)包括两个呈对称设置的延伸支臂(21)和用于支撑的底座(22)，所述支撑部件(2)的本体与镀膜腔体(1)外侧紧密贴合。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于：所述镀膜腔体(1)的两端部均开设有向内的凹槽，且不与冷却腔(15)相连通，所述镀膜腔体(1)的凹槽处设置有密封螺槽(14)，所述密封螺槽(14)与密封部件一(3)和密封部件二(4)相连接。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于：所述密封部件一(3)和密封部件二(4)相对的一端分别设置有螺纹环一(31)和螺纹环二(41)，所述螺纹环一(31)和螺纹环二(41)均与镀膜腔体(1)的凹槽处设置的密封螺槽(14)适配。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于：所述镀膜腔体(1)的两端部位于密封螺槽(14)的外侧设置有呈环形设置的定位孔(11)，且通过定位孔(11)连接有紧固件。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于：所述冷却部件(12)包括冷却板(121)，所述冷却板(121)的中段贯穿镀膜腔体(1)的内腔(13)与冷却腔(15)相连接，所述冷却板(121)的内侧与冷却腔(15)之间形成冷却通道(123)。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于：所述冷却板(121)的表面设置有一根或多根冷却槽(122)，用于镀膜腔体(1)内部的冷却。