[实用新型]一种成膜装置下炉体保温机构有效
| 申请号： | 202223464372.9 | 申请日： | 2022-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN218860957U | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏;徐文立;唐凯凯;沈磊 | 申请（专利权）人： | 宁波恒普真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B29/36;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王芳 |
| 地址： | 315300 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种成膜装置下炉体保温机构，涉及晶片制备技术领域；包括位于下炉体中心位置处的基座，所述基座顶部用于装载基板，所述基座内设有热场；所述下炉体内壁环设有上保温层，所述上保温层下部设有能够升降的下保温层，所述下保温层远离所述下炉体内壁的一侧设有能够抑制反应物沉积的保护层；所述下炉体顶部连接有进气室，所述下炉体底部连接有排气口；所述下炉体侧壁上设有转运口，所述转运口处设有隔断阀，所述转运口位于所述上保温层和下保温层之间的位置处。本实用新型能够避免反应气与保温材接触沉积，确保了保温效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 下炉体 保温 机构 | ||
【主权项】：
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