[实用新型]一种成膜装置下炉体保温机构

权利要求书

1.一种成膜装置下炉体保温机构，其特征在于：包括位于下炉体中心位置处的基座，所述基座顶部用于装载基板，所述基座内设有热场；所述下炉体内壁环设有上保温层，所述上保温层下部设有能够升降的下保温层，所述下保温层远离所述下炉体内壁的一侧设有能够抑制反应物沉积的保护层；所述下炉体顶部连接有进气室，所述下炉体底部连接有排气口；所述下炉体侧壁上设有转运口，所述转运口处设有隔断阀，所述转运口位于所述上保温层和下保温层之间的位置处。

2.根据权利要求1所述的成膜装置下炉体保温机构，其特征在于：所述保护层为内外壁均进行涂层处理的套筒，所述套筒上部为锥形缩口结构，下部为直筒结构。

3.根据权利要求1所述的成膜装置下炉体保温机构，其特征在于：所述上保温层远离所述下炉体内壁的一侧设有导流筒，所述导流筒上部为直筒结构，下部为锥形的扩口结构。

4.根据权利要求1所述的成膜装置下炉体保温机构，其特征在于：所述下保温层采用圆筒状石墨保温材制成。

5.根据权利要求1所述的成膜装置下炉体保温机构，其特征在于：所述下保温层底部设置于支撑提升部上，所述支撑提升部包括石荚材质的支撑环，所述支撑环底部通过支撑块与升降杆固定连接，所述升降杆底部穿过所述下炉体底部后传动连接有驱动装置，所述驱动装置与下炉体的底板接口底部密封固定。

6.根据权利要求5所述的成膜装置下炉体保温机构，其特征在于：所述下炉体的底板接口顶部插设有石英套管，所述下炉体的底板上固定设有石英板，所述基座穿过所述石英板后设置于所述下炉体内。

7.根据权利要求6所述的成膜装置下炉体保温机构，其特征在于：所述下炉体内壁底部与所述下炉体的底板连接位置处设有截面为L型的石英座，所述石英套管顶部环设有外侧翼缘，所述外侧翼缘底部分别与所述石英板和石英座接触连接。