[实用新型]晶体生长设备有效
申请号: | 202223449148.2 | 申请日: | 2022-12-22 |
公开(公告)号: | CN219032465U | 公开(公告)日: | 2023-05-16 |
发明(设计)人: | 周洁;王新;赵玉兵;张华利;范伟 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 黄德海 |
地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶体生长设备,晶体生长设备包括炉体、坩埚、加热器及隔挡件。坩埚设于炉体内,坩埚内放置生产晶体的原料。加热器位于炉体与坩埚之间,加热器用于对坩埚加热,加热器包括主加热器、两个加热器支腿及两个加热器脚,主加热器环绕在坩埚的外周侧且位于坩埚的上部,两个加热器支腿沿坩埚的径向相对设置,每个加热器支腿的上端与主加热器相连且下端设有加热器脚,加热器脚位于坩埚的下方。隔挡件位于坩埚的外周侧且位于主加热器的下方,隔挡件的至少部分位于坩埚的外周壁与加热器支腿之间,隔挡件与坩埚和加热器支腿中的至少一个间隔开。根据本实用新型实施例的晶体生长设备,可以降低晶体中的氧含量,保证晶体的生长质量。 | ||
搜索关键词: | 晶体生长 设备 | ||
【主权项】:
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