[实用新型]一种采用多振子耦合的微机械谐振器有效
| 申请号： | 202223417046.2 | 申请日： | 2022-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN219145356U | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 郭中洋 | 申请（专利权）人： | 安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/205 | 分类号： | H03H9/205;H03H9/24;H03H9/05;H03H9/13 |
| 代理公司： | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人： | 王琪;陆淑贤 |
| 地址： | 233042*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种采用多振子耦合的微机械谐振器，包括至少一组振子、每组振子对应四组驱动/检测电极、一组耦合梁、一组支撑梁和一个锚点，振子、驱动/检测电极、耦合梁、支撑梁和锚点相对于谐振器中心对称分布，振子与耦合梁相连，耦合梁与支撑梁相连，支撑梁与锚点相连，驱动/检测电极位于振子上面、振子内部和/或振子外部。本实用新型的微机械谐振器采用多个振子，且各振子之间相互耦合，可以利用其中一个或多个振子进行驱动，剩余的振子进行检测，实现驱动电极和检测电极在空间上隔离，降低驱动信号到检测端的耦合；采用驱动振子和检测振子分开，便于使用差分的方式对振子进行驱动或检测，提高谐振器抗干扰能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 多振子 耦合 微机 谐振器 | ||
【主权项】：
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