[实用新型]一种采用多振子耦合的微机械谐振器

权利要求书

1.一种采用多振子耦合的微机械谐振器，其特征在于：包括至少一组振子、每组振子对应四组驱动/检测电极、一组耦合梁、一组支撑梁和一个锚点；所述的驱动/检测电极位于振子上面、振子内部和/或振子外部，振子与耦合梁端部相连，耦合梁的中间区域与支撑梁的一端相连，支撑梁的另一端与锚点相连，振子、耦合梁、支撑梁和锚点共同组成框架结构，框架结构通过锚点固定，所述的振子、驱动/检测电极、耦合梁、支撑梁和锚点相对于谐振器中心对称分布。

2.根据权利要求1所述的采用多振子耦合的微机械谐振器，其特征在于：所述的耦合梁为“一”字耦合梁。

3.根据权利要求1或2所述的采用多振子耦合的微机械谐振器，其特征在于：在振子与耦合梁的连接处设置耦合梁细颈，在耦合梁与支撑梁的连接处设置支撑梁细颈，在支撑梁与锚点的连接处设置锚点槽。

4.根据权利要求3所述的采用多振子耦合的微机械谐振器，其特征在于：所述的振子呈圆环状，每组驱动/检测电极包括四个位于振子内部的内电极和四个位于振子外部的外电极。

5.根据权利要求3所述的采用多振子耦合的微机械谐振器，其特征在于：所述的振子呈圆环状，每组驱动/检测电极包括四个位于振子上面的上电极，上电极的材料是压电材料，振子采用压电方式进行驱动或检测。

6.根据权利要求3所述的采用多振子耦合的微机械谐振器，其特征在于：所述的振子呈圆环状，每组驱动/检测电极均包括四个位于振子内部的内电极、四个位于振子外部的外电极以及四个位于振子上面的上电极，上电极采用压电材料，振子同时采用压电或电容方式进行驱动或检测。

7.根据权利要求4或6所述的采用多振子耦合的微机械谐振器，其特征在于：所述的内电极连接一起，成为一体内电极，所述的外电极连接一起，成为一体外电极。

8.根据权利要求3所述的多振子耦合的微机械谐振器，其特征在于：所述的振子呈圆盘或方盘状，每组驱动/检测电极包括四个位于振子外部的外电极。

9.根据权利要求3所述的采用多振子耦合的微机械谐振器，其特征在于：所述的振子呈圆盘或方盘状，每组驱动/检测电极均包括四个位于振子外部的外电极和四个位于振子上面的上电极，上电极采用压电材料，振子同时采用压电或电容方式进行驱动或检测。

10.根据权利要求1或2所述的采用多振子耦合的微机械谐振器，其特征在于：谐振器的模态节点设置在耦合梁与支撑梁的结合处。