[实用新型]Mask翻转设备有效
| 申请号： | 202223352148.0 | 申请日： | 2022-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN218802383U | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 刘礼勇;施利君;陈书良 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00;B65G47/248;B65G47/90 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 梁佳强 |
| 地址： | 215555 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及Mask翻转设备。本实用新型中，Mask水平放置于底部支撑机构上之后，紧抵固定限位组件，利用侧向归正机构对Mask进行侧向归正，通过顶部限位机构对Mask进行竖直方向上的限制，然后转动底部支撑机构至Mask处于竖直状态，以便于取料机械手对Mask进行移走。反之，取料机械手移送竖直状态的Mask至底部支撑机构上之后，转动底部支撑机构至水平状态，处于水平状态的Mask能够被取料机械手水平取走，从而完成对Mask的翻转。通过如此设置能够减轻翻转重量大的Mask的难度，保证翻转时无划痕或损伤，其中侧向归正机构和顶部限位机构能保证Mask位置准确，安全系数高，不易产生翻倒风险。 | ||
| 搜索关键词： | mask 翻转 设备 | ||
【主权项】：
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