[实用新型]一种晶体生长坩埚用泄压装置有效
申请号: | 202223308897.3 | 申请日: | 2022-12-10 |
公开(公告)号: | CN218880139U | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | 李中波;唐华纯;张亮 | 申请(专利权)人: | 上海御光新材料科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B7/10 | 分类号: | C30B7/10 |
代理公司: | 上海云沪专利代理事务所(普通合伙) 31418 | 代理人: | 郑义红 |
地址: | 201807 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶体生长坩埚用泄压装置,属于晶体生长技术领域,包括生长容器、端盖和泄压装置本体,所述端盖的顶部通过覆盖泄压装置本体的输气管固定连接有处理箱,所述处理箱的底部内壁固定连接有硫酸钙网板,位于所述硫酸钙网板一侧的处理箱的底部内壁固定连接有木炭网板,所述处理箱的一侧外壁外放置有降污机构。本实用新型工作时,当泄压装置本体工作,生长容器中会有大量气体喷出,喷出的氨气经输气管排放至处理箱内,经过处理箱中的硫酸钙网板和木炭网板过滤,可使得气体中的氨气被去除,配合降污机构可对氨气做进一步处理,因此,可对氨气进行处理,实现保护工作人员身体的效。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 坩埚 用泄压 装置 | ||
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