[实用新型]一种晶体生长坩埚用泄压装置

权利要求书

1.一种晶体生长坩埚用泄压装置，包括生长容器(1)、端盖(2)和泄压装置本体(3)，其特征在于，所述端盖(2)的顶部通过覆盖泄压装置本体(3)的输气管固定连接有处理箱(4)，所述处理箱(4)的底部内壁固定连接有硫酸钙网板(5)，位于所述硫酸钙网板(5)一侧的处理箱(4)的底部内壁固定连接有木炭网板(6)，所述处理箱(4)的一侧外壁外放置有降污机构。

2.根据权利要求1所述的一种晶体生长坩埚用泄压装置，其特征在于，所述降污机构包括降污箱(7)，所述降污箱(7)的一侧内壁和处理箱(4)的一侧内壁之间通过输气管固定连接，所述降污箱(7)内壁填充有过氧化氢。

3.根据权利要求2所述的一种晶体生长坩埚用泄压装置，其特征在于，所述降污箱(7)的顶部内壁通过输气管固定连接有排放箱(8)，所述排放箱(8)内设置有干燥网板(9)，所述排放箱(8)的一侧外壁开设有排放口(10)。

4.根据权利要求3所述的一种晶体生长坩埚用泄压装置，其特征在于，所述排放箱(8)的一端外壁开设有安装口(12)，所述排放箱(8)的一端外壁铰接有覆盖于安装口(12)的安装门(11)，所述安装口(12)的一端内壁开设有与干燥网板(9)形成滑动配合的安装槽(16)。

5.根据权利要求4所述的一种晶体生长坩埚用泄压装置，其特征在于，所述干燥网板(9)呈双层空腔结构。

6.根据权利要求5所述的一种晶体生长坩埚用泄压装置，其特征在于，所述干燥网板(9)的内壁固定连接有若干均匀分布的电热丝(13)，所述排放箱(8)的一侧内壁底部固定连接有控制器(14)，且控制器(14)与电热丝(13)之间通过电线连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶体生长坩埚用泄压装置，其特征在于，所述电热丝(13)呈S形结构。

8.根据权利要求6所述的一种晶体生长坩埚用泄压装置，其特征在于，所述排放口(10)的底部内壁固定连接有湿度传感器(15)，且湿度传感器(15)与控制器(14)之间通过电线连接。