[实用新型]一种蒸发装置和蒸镀设备有效
| 申请号： | 202223284886.6 | 申请日： | 2022-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN219409884U | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 黄泽凡 | 申请（专利权）人： | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市世联合知识产权代理有限公司 44385 | 代理人： | 何艳梅 |
| 地址： | 510700 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例属于显示器件制造技术领域，涉及一种蒸发装置和蒸镀设备。所述蒸发装置包括：固定架；称重机构，设于所述固定架上；加热源，活动设于所述固定架上，且抵压所述称重机构；坩埚，设于所述加热源上；其中，所述坩埚用于盛放蒸镀材料，所述加热源用于加热所述坩埚中的蒸镀材料，所述称重机构用于称重。随着蒸镀材料的蒸发，本申请提供的加热源和坩埚施压在称重机构上的力实时减小，使称重机构称重的重量值发生改变，工作人员通过观察重量值可以判断蒸镀材料是否即将耗尽，进而使蒸镀计划正常行进，以合理安排添加蒸镀材料的时机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 设备 | ||
【主权项】：
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