[实用新型]一种蒸发装置和蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸发装置，其特征在于，包括：

固定架；

称重机构，设于所述固定架上；

加热源，活动设于所述固定架上，且抵压所述称重机构；

坩埚，设于所述加热源上；

其中，所述坩埚用于盛放蒸镀材料，所述加热源用于加热所述坩埚中的蒸镀材料，所述称重机构用于称重；

连接机构，所述连接机构活动设于所述固定架上，所述连接机构远离所述固定架的一端与所述加热源连接；

所述连接机构包括：连杆和转轴，所述转轴设于所述固定架上，所述连杆转动设于所述转轴上，所述连杆远离所述转轴的一端与所述加热源连接。

2.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述连杆为筒状，所述加热源的电源线穿出所述连杆至所述固定架。

3.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述连接机构包括：

滑轨和滑块，所述滑轨和滑块的其中一个设于所述固定架上、另一个设于所述加热源上，所述滑轨和滑块滑动连接。

4.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述固定架包括：

第一固定台和第二固定台，所述第二固定台设于所述第一固定台的一端，所述连接机构活动设于所述第二固定台上，所述称重机构设于所述第一固定台远离所述第二固定台的一端，所述加热源位于所述第一固定台远离所述第二固定台的一端。

5.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述加热源设有容置腔，所述坩埚设于所述容置腔内。

6.根据权利要求5所述的蒸发装置，其特征在于，所述容置腔的深度等于所述坩埚的高度。

7.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述称重机构为压力传感器。

8.一种蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求1至7任一项所述的蒸发装置。