[实用新型]一种蒸发装置和蒸镀设备

说明书

本申请实施例属于显示器件制造技术领域，涉及一种蒸发装置和蒸镀设备。所述蒸发装置包括：固定架；称重机构，设于所述固定架上；加热源，活动设于所述固定架上，且抵压所述称重机构；坩埚，设于所述加热源上；其中，所述坩埚用于盛放蒸镀材料，所述加热源用于加热所述坩埚中的蒸镀材料，所述称重机构用于称重。随着蒸镀材料的蒸发，本申请提供的加热源和坩埚施压在称重机构上的力实时减小，使称重机构称重的重量值发生改变，工作人员通过观察重量值可以判断蒸镀材料是否即将耗尽，进而使蒸镀计划正常行进，以合理安排添加蒸镀材料的时机。

技术领域

本申请涉及显示器件制造技术领域，更具体地，涉及一种蒸发装置和蒸镀设备。

背景技术

真空蒸镀，指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式使镀膜材料气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。在蒸镀设备中，蒸镀源是必不可少的部件之一，用来加热蒸镀材料使之气化蒸发。在利用蒸镀机进行镀膜时，需要确保蒸镀源具有足够的蒸镀材料。然而装有蒸镀材料的蒸镀源一般位于密闭蒸镀腔中，无法在不开腔的情况下直接在观察到材料的剩余量，而且传统的蒸镀机不具备材料重量的检测功能。

目前，一般是根据材料的加热温度来判断是否有足够的蒸镀材料：在一定的蒸镀速率下，随着蒸镀材料逐渐减少，加热温度会逐渐上升，工作人员可以依据经验判断材料是否即将耗尽。但是上述方法存在着不足之处：加热温度只有在材料即将耗尽时才会出现明显的变化，察觉到变化时，说明材料已经所剩无几，容易出现蒸镀计划无法正常行进的情况，且难以合理地安排添加材料的时机。

实用新型内容

本申请实施例在于提供一种蒸发装置和蒸镀设备，用于解决现有技术中难以观察或检测出材料的余量，而导致的蒸镀计划无法正常行进和难以根据材料的余量安排添加材料的问题。

为了解决上述技术问题，本申请实施例提供一种蒸发装置，采用了如下所述的技术方案：

一种蒸发装置，包括：

固定架；

称重机构，设于所述固定架上；

加热源，活动设于所述固定架上，且抵压所述称重机构；

坩埚，设于所述加热源上；

其中，所述坩埚用于盛放蒸镀材料，所述加热源用于加热所述坩埚中的蒸镀材料，所述称重机构用于称重。

进一步地，所述蒸发装置包括：

连接机构，所述连接机构活动设于所述固定架上，所述连接机构远离所述固定架的一端与所述加热源连接。

进一步地，所述连接机构包括：

连杆和转轴，所述转轴设于所述固定架上，所述连杆转动设于所述转轴上，所述连杆远离所述转轴的一端与所述加热源连接。

进一步地，所述连杆为筒状，所述加热源的电源线穿出所述连杆至所述固定架。

进一步地，所述连接机构包括：

滑轨和滑块，所述滑轨和滑块的其中一个设于所述固定架上、另一个设于所述加热源上，所述滑轨和滑块滑动连接。

进一步地，所述固定架包括：

第一固定台和第二固定台，所述第二固定台设于所述第一固定台的一端，所述连接机构活动设于所述第二固定台上，所述称重机构设于所述第一固定台远离所述第二固定台的一端，所述加热源位于所述第一固定台远离所述第二固定台的一端。

进一步地，所述加热源设有容置腔，所述坩埚设于所述容置腔内。

进一步地，所述容置腔的深度等于所述坩埚的高度。

进一步地，所述称重机构为压力传感器。