[实用新型]基于MEMS的真空计控制电路有效
| 申请号： | 202223250230.2 | 申请日： | 2022-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN218865363U | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 谢立坚;刘伟;李卢;林钟伟;雷世安 | 申请（专利权）人： | 博思发科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/10 | 分类号： | G01L21/10 |
| 代理公司： | 深圳华屹智林知识产权代理事务所(普通合伙) 44785 | 代理人： | 陈建 |
| 地址： | 518049 广东省深圳市福田区梅林街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种基于MEMS的真空计控制电路，包括：传感器模拟前端电路、电源电路、数据处理电路和模拟输出电路；传感器模拟前端电路感测被测环境中的真空度，当被测环境的真空度发生变化时，传感器模拟前端电路能够产生电信号差异，并检测到差分信号；数据处理电路对差分信号进行处理，得到目标真空度值；模拟输出电路用于将目标真空值输出；电源电路用于为传感器模拟前端电路、数据处理电路和模拟输出电路供电，能够实现更快、更可靠地检测环境中气体的真空度，具有长寿命，高可靠性，高响应速度，更换成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 真空计 控制电路 | ||
【主权项】：
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