[实用新型]基于MEMS的真空计控制电路

权利要求书

1.一种基于MEMS的真空计控制电路，其特征在于，包括传感器模拟前端电路、电源电路、数据处理电路和模拟输出电路；其中，

所述传感器模拟前端电路用于感测被测环境中的真空度，当被测环境的真空度发生变化时，所述传感器模拟前端电路能够产生电信号差异，并检测到差分信号；

所述数据处理电路用于对所述差分信号进行处理，得到目标真空度值；

所述模拟输出电路用于将所述目标真空值输出；

所述电源电路用于为所述传感器模拟前端电路、数据处理电路和模拟输出电路供电。

2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述传感器模拟前端电路包括第一热源引脚、第二热源引脚、正极热电阻引脚，负极热电阻引脚，所述正极热电阻引脚和所述负极热电阻引脚之间连接一热电堆，当所述第一热源引脚、第二热源引脚之间加上指定电压之后，所述第一热源引脚、第二热源引脚之间产生稳定的热源，热量通过被测环境中的气体分子传递到所述热电堆表面，当被测环境的真空度发生变化时，所述正极热电阻引脚和所述负极热电阻引脚之间能够产生电信号差异，并检测到差分信号。

3.根据权利要求2所述的电路，其特征在于，所述数据处理电路包括微控制芯片、第十电容和第六电容，所述微控制芯片包括第一输入引脚、第二输入引脚、共模电压引脚，第一输入引脚、所述正极热电阻引脚和第六电容的第一端连接，第二输入引脚与第六电容的第二端连接；

所述负极热电阻引脚、所述共模电压引脚和所述第十电容的一端连接，所述第十电容的第二端接地。

4.根据权利要求3所述的电路，其特征在于，所述数据处理电路还包括第十二电阻、第十一电容和第十二电容；所述第十一电容的第一端和所述微控制芯片的电压输入引脚连接第二电源电压端；所述第十二电阻的第一端连接第二电压输出端；所述第十二电阻的第二端、所述第十二电容的第一端和所述微控制芯片的电压输入输出引脚连接；所述第十二电容的第二端、所述第十一电容的第二端接地。

5.根据权利要求4所述的电路，其特征在于，所述微控制芯片还包括输入输出引脚，所述模拟输出电路包括第三电阻、第四电阻、第十四电容、第十三电容、第七电容、第八电容、运算放大器和第三二极管；其中，

所述第十三电容的第一端、运算放大器的正极输入端和所述输入输出引脚连接；所述第十三电容的第二端接地；

所述运算放大器的正极电压输入端、所述第十四电容的第一端连接微控制芯片的电压输入引脚；所述第十四电容的第二端接地；所述运算放大器的负极电压输入端接地；

所述运算放大器的负极输入端、所述第三电阻的第一端、所述第四电阻的第一端、所述第七电容的第一端连接；所述第三电阻的第二端接地；所述第四电阻的第二端、所述第七电容的第二端、所述运算放大器的输出端、所述第八电容的第一端、所述第三二极管的第一端连接第一电压输出端；

所述第八电容的第二端、所述第三二极管的第二端接地。

6.根据权利要求5所述的电路，其特征在于，所述电源电路还包括第二电源控制芯片、第四电容和第五电容，所述电源控制芯片的输入引脚、所述第四电容的第一端连接第二电源电压端；所述第二电源控制芯片的接地引脚、所述第四电容的第二端接地；所述第二电源控制芯片的使能引脚连接所述微控制芯片的低电压输入引脚；所述第二电源控制芯片的输出引脚和第五电容的第一端连接第二电压输出端；所述第五电容的第二端接地。