[实用新型]一种布气机构和镀膜设备

摘要

本申请实施例公开了一种布气机构和镀膜设备，布气机构包括布气板和绝缘组件，布气板上设有第一气孔，绝缘组件上设有第二气孔，绝缘组件设置于布气板上，绝缘组件罩设于布气板的设置第一气孔侧，绝缘组件的边缘和布气板的边缘密封连接。在等离子增强化学气相沉淀工艺中，布气板作为上极板，布气板上的第一气孔朝向下极板设置，将设有第二气孔的绝缘组件罩设于布气板的第一气孔侧，且绝缘组件的边缘和布气板的边缘密封连接，即绝缘组件在不阻碍出气的前提下将上、下极板绝缘分隔，如此设置可以既不阻断上、下极板的电场，还可以克服因采用高频电源击穿上极与下极间的气体产生电弧的问题，达到提升镀膜均匀性的效果。