[实用新型]晶片定位装置有效
| 申请号： | 202223014619.7 | 申请日： | 2022-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN218994212U | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 范中原 | 申请（专利权）人： | 英诺赛科（苏州）半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00;G01B11/00;G01N1/28;G01N23/00;G01N33/00;H01L21/66;H01L21/68 |
| 代理公司： | 珠海智专专利商标代理有限公司 44262 | 代理人： | 林永协 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种晶片定位装置，包括基座，基座上设置有晶片承载区；基座上还设置有至少一组第一定位组件与至少一组第二定位组件，第一定位组件包括可沿第一方向移动的第一定位件，第一定位组件在晶片承载区上形成第一定位标记；第二定位组件包括可沿第二方向移动的第二定位件，第二定位组件在晶片承载区上形成第二定位标记，第一定位标记与第二定位标记相交。本实用新型能够方便的对晶片上需要进行分析的点位进行标记，且不会对晶片造成损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 定位 装置 | ||
【主权项】：
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